中科院光电所研制出3米长光栅复制光刻机
日期：2009.01.01 阅读数：18
【类型】期刊
【作者】
【刊名】机电工程技术
【关键词】 光电技术；光刻机；长光栅；中科院；复制；照明均匀性；照明系统；光刻设备
【ISSN号】1009-9492
【页码】8
【年份】2009
【期号】第7期
【期刊卷】0
【摘要】
【全文】 全文