中科院光电所制成1.5～2μm光刻机
日期：1994.01.01 阅读数：12
【类型】期刊
【作者】卿典
【刊名】红外
【关键词】 中科院；分步重复投影；光刻机；自动对准；光电技术；分步重复曝光；学部委员；实用化工艺；自动调平；对准系统
【ISSN号】1672-8785
【页码】49
【年份】1994
【期号】第5期
【期刊卷】6
【摘要】
【全文】 全文