中科院光电所研制的DSW投影光刻机通过中科院评议
日期：1990.01.01 阅读数：3
【类型】期刊
【作者】邬纪泽（光电所）
【作者单位】光电所
【刊名】电子工业专用设备
【关键词】 投影光刻机；中科院；样机研制；评议会；工艺试验；检测报告；同轴对准；代表作；场崩；套刻精度
【ISSN号】1004-4507
【页码】51-51
【年份】1990
【期号】第2期
【期刊卷】0
【摘要】
【全文】 全文