中科院光电所研制成功新型投影光刻机
日期：1993.01.01 阅读数：15
【类型】期刊
【作者】
【刊名】电子工业专用设备
【关键词】 分步重复投影光刻机；中科院；研制成功；自动对准；均匀器；对准系统；投影物镜；精缩；曝光系统；设备研制
【ISSN号】1004-4507
【页码】38-38
【年份】1993
【期号】第3期
【期刊卷】0
【摘要】
【全文】 全文