真空薄膜沉积系统在中科院通过鉴定
日期：2006.01.01 阅读数：3
【类型】期刊
【作者】
【刊名】传感器世界
【关键词】 沉积系统；薄膜材料；通过鉴定；真空；中科院；自主知识产权；中国科学院；厚度均匀性；研制成功；介电特性
【ISSN号】1006-883X
【页码】46-47
【年份】2006
【期号】第2期
【期刊卷】0
【摘要】
【全文】 全文