步进投影数字光刻机在中科院光电所研制成功
日期：2008.01.01 阅读数：6
【类型】期刊
【作者】何坤尧，周鹏浩
【刊名】科技创新与品牌
【关键词】 光电技术；光刻机；投影；中国科学院成都分院；中科院；科技成果鉴定；完成情况；研发成果
【ISSN号】1673-940X
【页码】29
【年份】2008
【期号】第11期
【期刊卷】0
【摘要】
【全文】 全文