中科院成功研制650mm×650mm大面积光刻机
日期：2015.01.01 阅读数：6
【类型】期刊
【作者】（中科院）
【作者单位】中科院
【刊名】军民两用技术与产品
【关键词】 光刻机；非球面反射镜；微细加工技术；大功率高压；离轴；光电技术；研制水平；技术指标；中国科学院；调平
【ISSN号】1009-8119
【页码】37
【年份】2015
【期号】第19期
【摘要】
【全文】 全文