21世纪的微电子光刻技术和中科院光电所的科研基础
日期：2001.01.01 阅读数：3
【作者】姚汉民（中国科学院光电技术研究所）
【关键词】 微电子；光刻技术；微细加工；电子设备
【导师姓名】暂无
【学位名称】暂无
【学位年度】2001
【学位授予单位】第十一届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【分类号】TN305.7;TN405
【录入时间】2022-02-27
【摘要】21世纪的微电子光刻技术和中科院光电所的科研基础
【全文】 全文