EVG在中国的第一套“低温键合系统”落户中科院上海微系统与信息技术研究所（SIMIT）
日期：2006.01.01 阅读数：21
【类型】期刊
【作者】
【刊名】电子工业专用设备
【关键词】 中国科学院；信息技术；低温键合；微系统；研究所；上海；中科院；制造设备；微细加工；技术研讨会
【ISSN号】1004-4507
【页码】12-13
【年份】2006
【期刊卷】0
【摘要】
【全文】 全文