中科院光电所研制成功URE-2000/17型台式紫外深层光刻机
日期：2005.01.01 阅读数：24
【类型】期刊
【作者】
【刊名】红外
【关键词】 研制成功；显微镜；光刻机；单片机控制；红外探测器；微电子技术；声表器件；中科院；照明均匀性；性能可靠
【ISSN号】1672-8785
【页码】50
【年份】2005
【期号】第12期
【期刊卷】0
【摘要】
【全文】 全文