中国科学院微电子所HBT技术进展
日期：2003.01.01 阅读数：6
【作者】孙海锋刘新宇和致经刘训春郑丽萍袁志鹏刘洪刚石瑞英（中国科学院微电子所）
【关键词】 微电子；晶体管；半导体器件
【导师姓名】暂无
【学位名称】暂无
【学位年度】2003
【学位授予单位】第十二届全国电子束、离子束和光子束学术年会
【分类号】TN321
【录入时间】2022-02-27
【摘要】中国科学院微电子所HBT技术进展
【全文】 全文