中国科学院嘉兴微电子仪器与设备工程中心
日期：2012.01.01 阅读数：3
【类型】期刊
【作者】
【刊名】高科技与产业化
【关键词】 仪器与设备；中国科学院；微电子；工程中心；沉积系统；嘉兴市；硅太阳能电池；产业化；硅太阳电池；原子层
【ISSN号】1006-222X
【页码】80-83
【年份】2012
【期号】第11期
【期刊卷】0
【摘要】
【全文】 全文