中国科学院上海硅酸盐研究所研发成功4英寸碳化硅单晶
日期：2013.01.01 阅读数：24
【类型】期刊
【作者】（中国科学院上海硅酸盐所）
【作者单位】中国科学院上海硅酸盐所
【刊名】人工晶体学报
【关键词】 中国科学院上海硅酸盐研究所；碳化硅单晶；自主研发；单晶生长技术；大尺寸；直径；晶型
【ISSN号】1000-985X
【页码】256
【年份】2013
【期号】第2期
【期刊卷】1;|6;|7;|8;|4
【摘要】
【全文】 全文