中科院成功研制出MEMS电场传感器创新产品
日期：2014.01.01 阅读数：9
【类型】期刊
【作者】
【刊名】军民两用技术与产品
【关键词】 电场传感器；创新产品；MEMS；中科院；国家重点实验室；传感技术；中国科学院；微机电系统
【ISSN号】1009-8119
【页码】23
【年份】2014
【期号】第4期
【摘要】
【全文】 全文