中科院CVD大块单晶金刚石合成技术获突破

日期:2015.01.01 阅读数:3

【类型】期刊

【作者】

【刊名】军民两用技术与产品

【关键词】 单晶金刚石;CVD设备;合成技术;中科院;大块;化学气相沉积;微波等离子体;研究人员

【ISSN号】1009-8119

【页码】32

【年份】2015

【期号】第3期

【摘要】

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