中科院CVD大块单晶金刚石合成技术获突破
日期:2015.01.01 阅读数:3
【类型】期刊
【作者】
【刊名】军民两用技术与产品
【关键词】 单晶金刚石;CVD设备;合成技术;中科院;大块;化学气相沉积;微波等离子体;研究人员
【ISSN号】1009-8119
【页码】32
【年份】2015
【期号】第3期
【摘要】
【全文】 全文