科研装备研制项目——“高离化率磁控溅射复合受控阴极电弧镀膜装置”通过中科院验收
日期：2016.01.01 阅读数：6
【类型】期刊
【作者】中科院宁波材料所
【刊名】表面工程与再制造
【关键词】 镀膜装置；阴极电弧；磁控溅射；研制项目；受控；复合；离化；装备
【ISSN号】1672-3732
【页码】61
【年份】2016
【期号】第4期
【摘要】
【全文】 全文