中科院苏州纳米所5nm激光光刻研究获进展
日期：2020.01.01 阅读数：12
【类型】期刊
【作者】
【刊名】智能城市
【关键词】 光刻胶；线宽；能量密度；衍射极限；薄膜结构；反应机理；堆叠；精确控制
【ISSN号】2096-1936
【页码】86
【年份】2020
【期号】第13期
【摘要】
【全文】 全文